负载制动类型溅射系统
这种负载制动溅射系统特性节省空间的设计。
12个托盘(φ270 max)可以存储在标准盒腔,使连续的溅射。
Model: STL5321 - 这个系统使用三个阴极(φ100毫米),因此能够形成多个电影。
- 膜厚度分布φ250 mm±10%。
- 因为传输室和成膜室总是保持在真空下,吞吐量时间可以缩短。
- 这种节省空间的负载制动溅射装置使实时过程验证从触摸面板。
设备规格
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产品
Model: STL5321 