产品

批处理类型溅射系统

这批类型溅射系统适合R & D和大规模生产各种电子设备和高功能材料。
这个系统使大型表面均匀成膜采用小直径的阴极。 它功能先进的软件市场测试了高可靠性和硬件适合各种目的和过程。

  • STH10311STH10311
  • SRV4310SRV4310

(特性)

本系列有证明产品线,允许用户选择最好的硬件,软件和程序的广泛应用的研究和开发一个衬底全面大规模生产。

设备规格