高密度等离子体单元,SWP
SWP系列使用表面波等离子体(SWP)外套大面积的均匀层高密度等离子体。
单位已被证明在许多应用程序中(灰化、表面处理等)。
设备也可以接受H2彻底清洁没有遭受损失。
高密度等离子体单元,SWP (特性)
SWP系列使用表面波等离子体(SWP)外套大面积的均匀层高密度等离子体。 单位采用灰化和心血管疾病。
使免受伤害灰化速度高。
表面波等离子体
SWP应用领域
SWP室配置和系统大纲的目的
SWP系列等离子体放电状态和灰化数据
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